差壓傳感器

型號:VR-55PT?TCD系列

概述:高耐壓差壓傳感器

規格:精度±0.5%F.S. 量程±1~10kPa 耐壓10MPa

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光電開關小型壓力表

型號:JK50系列

概述:用于控制壓力報警輸出

規格:量程:-0.1~35MPa 顯示精度:±2%F.S.

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通用型高純氣壓力表

型號:GW11/16系列

概述:半導體行業用測量高純氣體壓力表

規格:量程:-0.1~100MPa 精度:±1.5%F.S.

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小型高純氣壓力表

型號:GW28系列

概述:半導體行業用測量高純氣體壓力表

規格:量程:-0.1~25MPa 精度:±1.5%F.S.

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高純氣數字壓力表

型號:ZT60系列

概述:半導體行業用測量高純氣體用數字壓力表

規格:量程:-0.1~20MPa 精度:±1%F.S.

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小型高純氣數字壓力表

型號:ZT67系列

概述:半導體行業用測量高純氣體用數字壓力表

規格:量程:-0.1~20MPa 精度:±1%F.S.

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高純氣用壓力開關

型號:CB14系列

概述:半導體行業用壓力開關

規格:量程:-0.1~2.1MPa 精度:±1%F.S.

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小型高純氣壓力傳感器

型號:ZT11系列

概述:半導體設備的超純氣體壓力測量

規格:量程:0-20MPa 絕壓:0-1MPa abs 精度:±0.25%或±0.5%F.S.

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半導體行業用壓力傳感器

型號:ZT15系列

概述:半導體設備的超純氣體壓力測量

規格:量程:0-20MPa 絕壓:0-1MPa abs 精度:±1%或±0.5%F.S.

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本安防爆傳感器

型號:KJ96系列

概述:半導體設備的超純氣體壓力測量

規格:量程:-0.1-20MPa 精度:±1%或±0.5%F.S.

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高精度電氣比例閥

型號:APU系列

概述:高精度閉環反饋,快速響應,自動壓力/流量控制器

規格:壓力范圍:-99~1000kPa 控制精度0.1%F.S.

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通用型調壓閥

型號:XR56系列

概述:為半導體行業供給系統及設備專門開發制造的調壓閥。

規格:一次壓:2MPa 二次壓:0.01-0.3MPa

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小型調壓閥

型號:XR66系列

概述:為半導體行業開發的大流量小型調壓閥。

規格:一次壓:1MPa 二次壓:0.05-0.7MPa

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